Theoretische und experimentelle Untersuchungen an ebenen aerostatischen Gaslagerelementen unter Hochvakuumbedingungen

Abhängigkeit Absaugleitungen Absaugstufe Absaugung Adsorption Aerostatische Arbeitspunkt Argon aufgrund ausgeprägter bearing pads Bedeckungszeit beider Lagerelementarten Berandung Berechnung bestimmt Betriebsgases Bindungsenergie Desorption Dichtspalt Dichtsystem Dichtsystems Dimensionierung Druck Druckanstieg Druckprofil Düsen Düsenlagerelement mit Mikroverteiler Düsenlagerelemente mit Mikroverteilerkanälen dynamische Steifigkeit effektive Saugvermögen Eigenfrequenz eingesetzt Einlassdrossel Einsatz ergibt Experimentalkammer Experimente experimentellen Führungsflächen Funktionsflächen Gas Bearing Gasabgabe Gasabgaberate Gasführungen gasgeführten Gaslager Gaslagerelemente Gasmenge Gasstrom Gasteilchen Gasverbrauch Gegenpart geringen Spalthöhen größer Helium Hochvakuum hochvakuumtauglicher hohen innerhalb innersten Absaugkanal instabilen kanälen Kapazitiver Sensor Kippschwingung kleiner Knudsenströmung Knudsenzahl Kontinuitätsbedingung Kontinuums Kontinuumsströmung Lagerbereich Lagerele Leckrate Leckrate der Lagerelemente Leitungsabschnittes Lineartisch Massestrom maximale statische Steifigkeit maximale Steifigkeit mbar mente mittels mittlere freie Weglänge Molekularströmung niedrigen Normalatmosphäre Oberfläche porösen Lagerelemente Prüfkörper Prüfkörperoberfläche Pumpsysteme reduziert Schwingungen Segment signifikant Siliziumcarbid Spalt Speisedruck stabil Stabilität Stabilitätsgrenze Stickstoff Strömung Strömungsformen Strömungsgeschwindigkeit Strömungsleitwert Strömungswiderstand Tabelle thrust bearings Totvolumen Trageigenschaften tragenden Gasfilmes Tragkraft Untersuchungen Vakuum Vakuumkammer Vakuumpumpe Vakuumsystems Vakuumumgebung Vergleich verschiedenen zusätzlich Zustandsänderung zweiten Absaugstufe